TY - DATA AU - Painen Painen,Cesar Antonio AU - Guzmán Villaseñor,Mario Andrés ED - Universidad de La Frontera (Chile). TI - Evoluciones de los micro sistemas electro mecánico PY - 2013/// CY - Temuco (Chile) : PB - Universidad de La Frontera , KW - Sistemas microelectromecánicos KW - Microtecnología KW - Mecánica KW - Ingeniería mecánica N1 - CD-ROM contiene tesis digital en formato PDF (1.349 KB); Incluye índice de contenido; Tesis : (Ingeniero Mecánico).-- Universidad de La Frontera, Facultad de Ingeniería y Ciencias, 2013; Bibliografía: hojas 76-85; Acceso restringido a usuarios con una Id. válida de la UFRO; sólo miembros UFRO; Tesis digital (PDF); Disponible sólo en formato digital N2 - El tema que se presenta es un estudio de los MEMS, que en sus siglas significa Sistema Micro Electro Mecánico, analizando toda su historia, como surgió, desde sus inicios, hasta el mundo de hoy. Y cuáles son sus procesos, aplicaciones y ventajas. Así además este trabajo de investigación tiene el propósito de contribuir al desarrollo tecnológico en el universo de lo pequeño MEMS. El trabajo que aquí se presenta es pionero en la Universidad de La Frontera y en conjunto con mi profesor guía, Mario Guzmán V. pretendemos dar a conocer un área que está muy en boga, que va de la mano con la tecnología que crece a pasos agigantados, y así entusiasmar a las próximas generaciones para que puedan crear y/o analizar sus propios Sistemas Métricos Electro Mecánicos ER -